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半導(dǎo)體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對(duì)什么都必須嚴(yán)格控制，雜質(zhì)各式各樣，如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能，灰塵粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等。
電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度級(jí)別和控制凈化車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國(guó)內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一 規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及凈化車間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造凈化車間的空氣潔凈度級(jí)別等級(jí)（如下表格）。
|
行業(yè) 分類 |
潔凈度要求 用途（工藝） |
級(jí)別 | ||||||||
| 0.1um | 1000 | 10000 | 100000 | 10000 | ||||||
| 0.5um | 10 | 100 | 1000 | 10000 | 100000 | |||||
| 半導(dǎo)體行業(yè) | 拉單晶 | |||||||||
| 擴(kuò)散 | ||||||||||
| 腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發(fā) | ||||||||||
| 組裝試驗(yàn) | ||||||||||
| 原料 | ||||||||||
| 研磨 | ||||||||||
| 包裝 | ||||||||||
| 半成品貯藏 | ||||||||||
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