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一、工程概況
本項(xiàng)目為深圳某半導(dǎo)體有限公司潔凈廠房無塵車間裝修工程，其中中試廠房建筑面積約2116.8 m2，裝修面積2116.8 m2，空調(diào)送風(fēng)面積 1547.42m2。廠房為單層鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)組成，耐火等級為二級，火災(zāi)危險(xiǎn)性等級為甲類，樓板高度5.85m。廣東康合有半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)施工經(jīng)驗(yàn)。為了更高效的推進(jìn)項(xiàng)目的進(jìn)展，歡迎有需求的客戶，直接電話或在線留言，我們會安排專業(yè)技術(shù)工程師與您詳細(xì)溝通。
墻板及吊頂：本工程隔墻采用企口型機(jī)制玻鎂巖棉夾芯板0.426， 玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級達(dá)到A級。巖棉密度：≥100kg/m3；導(dǎo)熱系數(shù)：≤0.046w/m.k；燃燒性能：A級(不燃)。耐火極限為30~120分鐘。廣泛應(yīng)用于食品、電子、醫(yī)藥、飲料、生物研究等行業(yè)。你可能感興趣：半導(dǎo)體凈化級別
地板：本工程車間內(nèi)地面采用防靜電型PVC地板，其中千級和百級車間采用防靜電型架高鋼板，其它為普通型PVC地板。 PVC地板是當(dāng)今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料，也稱為“輕體地材” 使用非常廣泛，比如家庭、醫(yī)院、學(xué)校、辦公樓、工廠、公共場所、超市、商業(yè)、等各種場所。
三、暖通工程
設(shè)備：空調(diào)制冷負(fù)荷：經(jīng)統(tǒng)計(jì)計(jì)算，總冷負(fù)荷約500KW。采用恒溫恒濕潔凈空調(diào)，夏季采用磁懸浮水冷機(jī)組，冬季采用廠區(qū)鍋爐熱水供熱。
風(fēng)管：風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。
水管：空調(diào)水管采用無縫鋼管。水泵采用星-三角降壓啟動。
四、特種氣體工程
工藝氣體種類多，純度高，并且易燃易爆有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進(jìn)口成熟產(chǎn)品。
因?yàn)?MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運(yùn)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。
五、空壓氣體工程
螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。
六、廢氣工程
由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。
生產(chǎn)廢氣排放源及組成表
| 廢氣來源 | 組成 |
| 外延工序 | SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2 |
| 清洗工序 | H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等 |
| 光刻工序 | 異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等 |
| 化學(xué)機(jī)械拋光 | NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有機(jī)酸鹽 |
| 化學(xué)氣相沉淀 | SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3 |
| 擴(kuò)散、離子注入 | BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6 |
| 金屬化工序 | SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等 |
對于有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于11039 m3/小時(shí)）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。
七、電氣工程
空調(diào)動力電工程：統(tǒng)計(jì)總用電量約830KW，空調(diào)用電約330KW。
動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，再分至車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。
八、弱電系統(tǒng)工程
1、高清視頻監(jiān)控 系統(tǒng)采用1200W網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控?cái)z像機(jī)，通過千兆交換組網(wǎng)在機(jī)房中心進(jìn)行集中存儲， 系統(tǒng)設(shè)計(jì)7*24小時(shí)不間斷運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)1080P存儲1個(gè)月以上，管理人員可通過電腦進(jìn)行監(jiān)控查看，錄像回放等操作。
2、門禁管理系統(tǒng) 門禁系統(tǒng)已成為安防系統(tǒng)極其重要的組成部分，門禁系統(tǒng)將監(jiān)控被動防范的方式進(jìn)行了主動防范補(bǔ)充。通過網(wǎng)絡(luò)一體式門禁管理機(jī)，配合門禁專用電源、電磁鎖可將主要出入口設(shè)置為授權(quán)式管理，避免了與車間無關(guān)人員的頻繁出入。
九、智能平臺
潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制采用文丘里閥門，實(shí)時(shí)監(jiān)控流量及狀態(tài)，可在線診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。
中控室中把空調(diào)、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數(shù)集成管理、顯示、儲存，并對數(shù)據(jù)進(jìn)行打印輸出及溯源查找。
并經(jīng)設(shè)備輸出在參觀通道播放，方便參觀。
十、純水工程
1、設(shè)備產(chǎn)水能力：
2、RO系統(tǒng)：一級RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）；
二級RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）；
3、EDI系統(tǒng)：EDI產(chǎn)水量≥5m3/h（水溫在25℃時(shí)）；
4、終端拋光混床產(chǎn)水能力為：≥5m³/H（水溫保證在25℃時(shí)）；
5、設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)指標(biāo)：
終端拋光混床產(chǎn)水水質(zhì)為：≥18.0MΩ.cm（水溫保證在25℃時(shí)，測點(diǎn)在拋光混床出口3米內(nèi)，95%時(shí)間）
其它技術(shù)指標(biāo)參照我國的電子級水的技術(shù)指標(biāo)（GB11446.1-1977）EW-1
| 指標(biāo) 級別 | EW-I | EW-II | EW-III | EW-IV |
| 電阻率（25℃）MΩ.cm |
18（95%時(shí)間） 不低于15 |
15（95%時(shí)間） 不低于12 |
12.0 | 0.5 |
| 全硅，最大值（ug/L） | 2 | 10 | 50 | 1000 |
| ≥1um微粒數(shù)，最大值（個(gè)/Ml） | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
| 細(xì)菌個(gè)數(shù)，最大值（個(gè)/Ml） | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
| 銅，最大值（ug/L） | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
| 鋅，最大值（ug/L） | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
| 鎳，最大值（ug/L） | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
| 鈉，最大值（ug/L） | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
| 鉀，最大值（ug/L） | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
| 氯，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 10 | 1000 |
| 硝酸根，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 磷酸根，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 硫酸根，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 總有機(jī)碳，最大值（ug/L） | 0. | 100 | 200 | 1000 |
由于設(shè)備用水的級別各不相同，可以在本設(shè)計(jì)流程中的某段引出合適的使用點(diǎn)即可。對于超純水必須采用UPVC材質(zhì)（因金屬管道會析出離子），特別對于圓晶的生產(chǎn)，超純水會對額定的離子限值嚴(yán)格，所以采用進(jìn)口的UPVC純水管道對產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
十一、廢水處理工程
半導(dǎo)體制造及封裝測試的各個(gè)工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生，主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機(jī)廢水為主。
⑴酸堿廢水
對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi)，時(shí)間間歇性強(qiáng)。在排放水體或進(jìn)行生物處理或化學(xué)處理之前，必須進(jìn)行中和，使廢水pH值達(dá)到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達(dá)3%~5%的廢水，應(yīng)首先考慮其回收。
⑵含氟廢水
含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法，即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀，然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。
⑶有機(jī)廢水
依靠物理法、化學(xué)法很難處理有機(jī)廢水，通常采用生化法處理。
⑷金屬廢水
金屬廢水的處理主要用化學(xué)沉淀法，廢水中含有危害性很大的一些重金屬和某些類金屬（如砷）。
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